● 有機材料成膜装置(有機EL/TFT・有機薄膜太陽電池用)● 簡易型電界イオン顕微鏡(FIM)装置● 有機蒸着セル● 金属蒸着セル● 超高真空チャンバー● 各種導入機(直線・回転・ステージ)● 各種パネル展示