表面分析機器●SPECS社 静電半球型エネルギーアナライザー, TOF型光電子分光器, STM, XPS, UPS, LEED/AES, HREELS, ESCA他 ●HIDEN社 四重極質量分析計,高感度SIMS,ガス分析計,ラングミュアプローブ,エネルギーアナライザー付質量分析計,SIMS型エンドポイントモニター他●Advanced Energy社及びSEREN社RF電源, EN Technologies社 パルスDC電源, アステック社 自動整合器●Neoptix社 光ファイバー温度計他