出展企業のご紹介

ウシオ電機㈱

展示出展物

●ArFエキシマランプ：世界で唯一、193nmの準単色光を発光するランプです。マスクや光学部品、フォトレジストの評価などに、テーブルトップのコンパクトさで、手軽に193nm光が得られます。
●172nmエキシマランプ：マスクブランクスおよびフォトマスクの洗浄、改質に多くの実績を有する、172nmVUVエキシマランプです。