出展企業のご紹介

㈱エリオニクス

展示出展物

【 TFE電子ビーム描画装置 】（パネル展示）●使い易さを追求した研究開発用の電子線描画装置出展機種はTFE電子銃・50kVの加速電圧により、最小線幅10nmのラインパターン描画を実現。省スペース設置、オールPC制御で操作も簡単です。上位機種もあります。【 セミインレンズ型　電子線三次元粗さ解析装置 】●低加速・低電流・高分解能でSEM観察が可能SEM観察時、試料への照射電圧が100V以下においても観察可能。1kV時の分解能は1.3nmを実現。観察視野を三次元に取り込み、粗さと形状解析が行えます。【 超微小押込み硬さ試験機(超軽荷重型) 】●最小荷重1μN、押込み深さ数nmで塑性・弾性硬さが測定可能外乱ノイズを除去するため、温度コントロール機構と高性能アクティブ除振台(0.6Hz)を標準装備。最先端薄膜素材、半導体デバイスや高分子材料を再現性よく評価出来ます。