出展企業のご紹介

㈱クレステック

展示出展物

電子ビームは人類が手に入れた最高の道具で、極微細性、高速性、制御性 という超微細加工装置に必要な3要素を兼ね備えています。クレステックでは、抜群の簡易性、機能性を付加したポイントビーム型電子線描画装置CABL-9000Cを紹介、パネル展示します。加速電圧50kVで、ビームスポットサイズ2nm、最小線幅5.6nm、つなぎ精度10nm等の性能を実証することが出来ています。