出展企業のご紹介

（株）コメット/（株）ビームトロン

展示出展物

より広い面積でのハイスループット材料探索を可能にするコンビナトリアルスパッタ装置をポスター展示、本装置に使用するカソード類を実機展示します。高速物性評価が可能な4インチウエハを標準化し、1台で2元&3元の自動コンビ成膜に対応。ドーパント用カソード類を追加すれば最大6元構成まで拡張可能です。ブースにてさらに詳しくご説明申し上げます。