出展企業のご紹介
(株)ユニバーサル システムズ
ブース番号：4-26
- 郵便番号
- 185-0032
- 住所
- 東京都国分寺市日吉町4-17-23
- ビル名
- TEL
- 042-322-8726
- FAX
- 042-322-8736
- 分類
- 薄膜形成加工装置
- URL
- http://www.universalsystems.jp/
展示出展物
●超高温度UHV-CVD 装置●ＵＨＶスパッタ装置・超高温度スパッタ装置●Ｐ−ＣＶＤ装置●ＵＨＶクリーンロボット（基板搬送装置）●真空蒸着装置・ＭＢＥ装置・ＲＦラジカル装置●3C-SiC 形成装置・超高温ラピッド熱処理装置●ランプアニール装置、全般●MO-CVD 装置（酸化物、窒化物等）●Spray-CVD装置＆同時熱処理装置●原料気化供給装置（MO-CVD 装置用）
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